探针台：升级型EG1034-AW/
       升级型2001-AW/2010
       WENTWORTH MP2020等

测试仪：
    HP/Agilent公司
    HP4062-AW/HP4142B/HP4145A
    /HP4145B/HP4084 /HP4085
    /HP4275A/HP4280/HP8772
    Keithley公司
    S900A/S280/S350等

表面颗粒检测器：
    KLA TENCOR
    Surfscan 4500/Surfscan 6xxx

等离子体增强化学气相淀积 PECVD
     STS 310/PTI 790/Oxford 80

反应离子刻蚀 RIE
STS 320/ PTI 790/PTI 730/xford100

电感耦合等离子体刻蚀 ICP
STS ICP/ PTI ICP/ Oxford ICP