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Tegal 901e 等离子刻蚀机 |
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制造商:Tegal成色:由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″传片系统:全自动,原厂皮带-滑梭传片或Allwin21固态机械手传片系统等离子电源:射频,13.56MHz |
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Tegal 903e 等离子刻蚀机 |
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制造商:Tegal成色:由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,原厂皮带-滑梭传片或Allwin21可靠的机械手传片系统等离子体电源:射频,13.5 |
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Tegal 901e TTW 等离子刻蚀机 |
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制造商:Tegal成色:由Allwin21全面翻新并升级适用晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,Allwin21固态机械手传片等离子体电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置 |
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Tegal 903e TTW 等离子刻蚀机 |
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制造商:Tegal成色:由Allwin21全面翻新并升级适用晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,Allwin21固态机械手传片等离子体电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置 |
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