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| Tegal 901e 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:Tegal成色：由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″传片系统:全自动,原厂皮带-滑梭传片或Allwin21固态机械手传片系统等离子电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置/单片工艺/等离 |
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| Tegal 903e 等离子刻蚀机 |
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| 制造商：Tegal成色：由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸：3″/4″/5″/6″晶圆传输：全自动,原厂皮带-滑梭传片或Allwin21可靠的机械手传片系统等离子体电源：射频,13.56MHz类型：晶圆水平放置/单片工艺 |
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| Tegal 901e TTW 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:Tegal成色:由Allwin21全面翻新并升级适用晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,Allwin21固态机械手传片等离子体电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，RIE，穿墙安 |
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| Tegal 903e TTW 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:Tegal成色:由Allwin21全面翻新并升级适用晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,Allwin21固态机械手传片等离子体电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，RIE，穿墙安 |
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| Lam AutoEtch 490 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:LamResearch成色：由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:4″/5″/6″传片系统:全自动,原装机械传片系统等离子电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，独立机台刻蚀材料：多晶硅， |
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| Lam AutoEtch 590 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:LamResearch成色：由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:4″/5″/6″传片系统:全自动,原装机械传片系统等离子电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，独立机台刻蚀材料：二氧化硅 |
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| Lam AutoEtch 690 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:LamResearch成色：由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:4″/5″/6″传片系统:全自动,原装机械传片系统等离子电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，独立机台刻蚀材料：金属引线 |
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| Lam AutoEtch 790 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:LamResearch成色：由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:4″/5″/6″传片系统:全自动,原装机械传片系统等离子电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，独立机台刻蚀材料：阻挡金属 |
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| Lam Rainbow 4420 等离子刻蚀机 |
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| 制造商：LamResearch成色：由Allwin21全面翻新晶圆尺寸：4″/5″/6″/8″传片系统：全自动,原装机械传片系统等离子电源：射频,13.56MHz类型：晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，反应离子刻蚀，独立机台 |
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| Lam Rainbow 4520 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:LamResearch成色：由Allwin21全面翻新晶圆尺寸:4″/5″/6″/8″传片系统:全自动,原装机械传片系统等离子电源:射频,400kHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，反应离子刻蚀，独立机台刻 |
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| Lam Rainbow 4620 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:LamResearch成色：由Allwin21全面翻新晶圆尺寸:4″/5″/6″/8″传片系统:全自动,原装机械传片系统等离子电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，独立机台刻蚀材料：金属 |
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| Lam Rainbow 4720 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:LamResearch成色：由Allwin21全面翻新晶圆尺寸:4″/5″/6″/8″传片系统:全自动,原装机械传片系统等离子电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，独立机台刻蚀材料：阻挡 |
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| Matrix 303 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:Matrix成色:由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,原BrooksOrbitran®蛙腿机械手等离子体电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，独立 |
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| Matrix 403 等离子刻蚀机 |
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| 制造商:Matrix成色:由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,原BrooksOrbitran®蛙腿机械手等离子体电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，穿墙 |
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