
Matrix 105、106等离子去胶机升级组件包含一套AW-105控制系统,通过触摸屏或17” LCD显示器操作,装有AW-105软件的计算机,新的主控制板。升级组件安装简单,即插即用,无需移动待升级去胶机的当前位置,所有功能模块接口位置不变。实时、精确的控制确保去胶机更加可靠,操作性能更加优越。可选组件--机械手传片模块和固定式片盒台,能够更好的传送晶片,减少故障时间。
AW-105控制系统主要特点
· 维修、手动、半自动、全自动操作模式
· 所有子系统自动校准功能
· 部件故障检测功能
· 全面的校准和诊断功能
· 可全自动运行的工艺菜单
· 自动排查工艺菜单和数据错误
· 多级权限密码保护功能
· 多样的工艺菜单储存功能
· 实时存取、显示、分析工艺数据
全新机械手模块的Matrix 105
· 实时显示工艺曲线(用户图形界面)
· 工艺数据及菜单存储于计算机硬盘
· 先进的终点检测功能
· GEM/SEC II功能(可选)
· 高强度集成的机械手传片模块(可选)
· 新电源分配器和压力控制盒
· 新闭环温度控制模块
· 2-6英寸载片盘(可选),确保更好的稳定重复性
· 全新数字射频源(可选)
必要时更换的旧模块
· 旧控制器
· 旧电路板
· 旧机械手电路板(可选)
· 旧温控模块
· 必要时更换旧压力控制模块
· 旧电源模块
高效的现场升级
· 根据客户需要定制升级计划
· 相同的输入/输出接口
· 相同的接口定义
· 即插即用