制造商：Tegal

成色：由Allwin21全面翻新并升级

晶圆尺寸：3″/4″/5″/6″

晶圆传输：全自动,原厂皮带-滑梭传片 或 Allwin21可靠的机械手传片系统

等离子体电源：射频,13.56MHz

类型：晶圆水平放置/单片工艺/等离子刻蚀/RIE/独立机台

刻蚀材料：硅的氧化物,硅的氮化物

气路配置：根据客户需求配置MFC量程，最多可配备4路

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