制造商: Tegal

成色: 由Allwin21全面翻新并升级

适用晶圆尺寸: 3″/4″/5″/6″

晶圆传输: 全自动, Allwin21固态机械手传片

等离子体电源: 射频,13.56MHz

类型: 晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，RIE，穿墙安装

刻蚀材料: 多晶硅，难熔金属硅化物和氮化物

气路配置: 根据客户需求配置MFC量程，最多可配备4路