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Perkin-Elmer 4480 溅射台
制造商：
Perkin-Elmer
成色：
全面翻新并升级
晶圆尺寸：
4~6英寸
传片系统：
自动传片，带有Load lock腔室
阴极靶位：
1-3个三角形靶位
溅射方式：
DC溅射，RF溅射；双极溅射，磁控溅射
气路配置：
1-3路气体，根据客户需求配置MFC量程
下载信息
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