制造商：Branson/IPC

成色：由Allwin21彻底翻新并升级

晶圆尺寸：4″/5″/6″/8″

传片系统：全自动, Allwin21自有技术，固态机械手传片系统

等离子电源：射频,13.56MHz

类型：晶圆水平放置，单片工艺，独立机台

工艺气体：根据客户需求配置MFC量程，最多可配备3路