制造商: Matrix
成色: 由Allwin21全面翻新并升级
晶圆尺寸: 3″/4″/5″/6″
晶圆传输: 全自动, 原Brooks Orbitran® 蛙腿机械手
等离子体电源: 射频,13.56MHz
类型: 晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，穿墙安装
刻蚀材料: 氮化物，二氧化硅
气路配置: 根据客户需求配置MFC量程，最多可配备3路