
AW-4450溅射系统升级组件包含一套触摸屏操作系统和Allwin21控制软件。升级组件安装简单,即插即用,无需移动待升级溅射台的当前位置,所有功能模块接口位置不变。更换AW-4450控制系统后,溅射台运行更加稳定,操作性能更加优越。
AW-4450系统功能
· 维修、手动、半自动、全自动操作模式
· 所有子系统自动校准功能
· 部件故障检测功能
· 全面的校准和诊断功能
· 支持菜单创建,全面控制工艺
· 自动排查工艺菜单和数据错误
· 多级权限密码保护功能
· 多样的工艺菜单储存功能
· 实时存取、显示、分析工艺数据
· 实时显示工艺曲线(用户图形界面)
· 工艺数据及菜单存储于计算机硬盘
· 热偶真空计校准操作简单、方便
· 定位溅射功能(可选)
· GEM/SEC II功能(可选)
必要时更换的旧模块
· 真空泵自动控制器
· Load Lock 控制器
· 数字时钟计时器
· 载片台升降控制模块
· 蝶阀控制模块
· 压力控制模块
· 溅射腔室顶部控制(可选)
高效的现场升级
· 根据客户需要定制升级计划
· 相同的输入/输出接口
· 相同的接口定义
· 即插即用
