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Perkin-Elmer 44XX系列溅射台升级
AW-4450溅射系统升级组件包含一套触摸屏操作系统和Allwin21控制软件。升级组件安装简单,即插即用,无需移动待升级溅射台的当前位置,所有功能模块接口位置不变。更换AW-4450控制系统后,溅射台运行更加稳定,操作性能更加优越。

AW-4450系统功能
·         维修、手动、半自动、全自动操作模式
·         所有子系统自动校准功能
·         部件故障检测功能
·         全面的校准和诊断功能
·         支持菜单创建,全面控制工艺
·         自动排查工艺菜单和数据错误
·         多级权限密码保护功能
·         多样的工艺菜单储存功能
·         实时存取、显示、分析工艺数据
·         实时显示工艺曲线(用户图形界面)
·         工艺数据及菜单存储于计算机硬盘
·         热偶真空计校准操作简单、方便
·         定位溅射功能(可选)
·         GEM/SEC II功能(可选)
必要时更换的旧模块
·         真空泵自动控制器
·         Load Lock 控制器
·         数字时钟计时器
·         载片台升降控制模块
·         蝶阀控制模块
·         压力控制模块
·         溅射腔室顶部控制(可选)
高效的现场升级
·         根据客户需要定制升级计划
·         相同的输入/输出接口
·         相同的接口定义
·         即插即用
 Perkin-Elmer 44XX系列溅射台升级
 
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