Tegal 901e、903e等离子刻蚀机升级组件包含一套AW-900控制系统，通过触摸屏或17”LCD显示器操作，装有AW-900软件的计算机和新的主控制板。升级组件安装简单，即插即用，不需要移动待升级刻蚀机的当前位置，所有功能模块接口位置不变。更换AW-900控制系统后，刻蚀机运行更加稳定，操作性能更加优越。可选组件--机械手传片模块，能够更好的传送晶片，减少故障时间。
AW-900控制系统主要特点
·         维修、手动、半自动、全自动操作模式
·         所有子系统自动校准功能
·         部件故障检测功能
·         全面的校准和诊断功能
·         全自动晶片工艺的菜单创建功能
·         自动优化工艺菜单和数据
·         多级密码保护功能
·         多样的工艺菜单储存功能
·         实时存取、显示、分析工艺数据
·         实时显示工艺曲线（用户图形界面）
·         工艺数据及菜单存储于计算机硬盘
·         先进的终点检测功能
·         GEM/SEC II功能（可选）
高效的现场升级
·         根据客户需要定制升级计划
·         相同的输入/输出接口
·         相同的接口定义
·         即插即用