Lam AutoEtch 490、590、690、790等离子刻蚀机升级组件包含一套AW-590控制系统，通过触摸屏或17”LCD显示器操作，装有AW-590软件的计算机和新的主控制板。升级组件安装简单，即插即用，不需要移动待升级刻蚀机的当前位置，所有功能模块接口位置不变。实时、精确的控制确保刻蚀机更加可靠，操作性能更加优越。
AW-590控制系统主要特点
·         维修、手动、半自动、全自动操作模式
·         所有子系统自动校准功能
·         部件故障检测功能
·         全面的校准和诊断功能
·         可全自动运行的工艺菜单

• 自动排查工艺菜单和数据错误

·         多级权限密码保护功能
·         多样的工艺菜单储存功能
·         实时存取、显示、分析工艺数据
·         实时显示工艺曲线（用户图形界面）
·         工艺数据及菜单存储于计算机硬盘
·         热偶真空计校准操作简单、方便，不需要调节电位器
·         先进的终点检测功能
必要时更换的旧模块
·         旧控制器
·         旧接口电路板
高效的现场升级
·         根据客户需要定制升级计划
·         相同的输入/输出接口
·         相同的接口定义
·         即插即用
Lam AutoEtch 490 590 690 790等离子刻蚀机升级-先进的终点检测功能