Gasonics Aura 1000 等离子去胶机升级组件包含一套AW-1000控制系统，通过触摸屏或17”LCD显示器操作，装有AW-1000软件的计算机，新的主控制板和根据Allwin21 RTP 技术研发的的新晶片加热功能。升级组件安装简单，即插即用，不需要移动待升级刻蚀机的当前位置，所有功能模块接口位置不变。更换AW-1000控制系统后，刻蚀机运行更加稳定，操作性能更加优越。可选组件--机械手传片模块，能够更好的传送晶片，减少故障时间。
AW-1000控制系统主要特点
l  维修、手动、半自动、全自动操作模式
l  所有子系统自动校准功能
l  部件故障检测功能
l  全面的校准和诊断功能
l  全自动晶片工艺的菜单创建功能
l  自动排查工艺菜单和数据错误
l  多级密码保护功能
l  多样的工艺菜单储存功能
l  实时存取、显示、分析工艺数据
l  实时显示工艺曲线（用户图形界面）
l  工艺数据及菜单存储于计算机硬盘
l  先进的终点检测功能
l  全新的晶片加热功能保证了更好的稳定重复性
l  GEM/SEC II功能（可选）
l  机械手传片模块（可选）
必要时更换的旧模块
l  旧控制器
l  旧电路板
l  旧机械手传片模块（可选）
高效的现场升级
l  根据客户需要定制升级计划
l  相同的输入/输出接口
l  相同的接口定义
l  即插即用

带有机械手传片模块的Gasonics Aura 1000 等离子去胶：