Gasonics L3510 等离子去胶机升级组件包含一套AW-3510控制系统，通过触摸屏或17”LCD显示器操作，装有AW-3510软件的计算机，新的主控制板，根据Allwin21 RTP 技术研发的的新晶片加热功能，固定式载片台代替老式升降结构，高强度集成的机械手传片模块代替老式Z-bot传片模块。升级组件安装简单，即插即用，无需移动待升级刻蚀机的当前位置，所有功能模块接口位置不变。实时、精确的控制确保去胶机更加可靠，操作性能更加优越。
AW-3510控制系统主要特点
·         维修、手动、半自动、全自动操作模式
·         所有子系统自动校准功能

Gasonics L3510 等离子去胶机升级—布局:



·         部件故障检测功能
·         全面的校准和诊断功能
·         可全自动运行的工艺菜单
·         自动排查工艺菜单和数据错误
·         多级权限密码保护功能
·         多样的工艺菜单储存功能
·         实时存取、显示、分析工艺数据
·         实时显示工艺曲线（用户图形界面）
·         工艺数据及菜单存储于计算机硬盘
·         先进的终点检测功能
·         GEM/SEC II功能（可选）
·         高强度集成的机械手传片模块代替老式Z-bot传片模块
·         固定式载片台代替老式升降结构
必要时更换的旧模块
·         旧控制器
·         旧电路板
·         旧的Z-bot机械手以及片盒升降台（可选）
高效的现场升级
·         根据客户需要定制升级计划
·         相同的输入/输出接口
·         相同的接口定义
·         即插即用