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AccuSputter AW4450 溅射台
制造商：
Allwin21 Corp.
成色：
全新
晶圆尺寸
：
小样片~8英寸
传片系统
：手动上片，自动传送，带有Load lock腔室
阴极靶位：
1-3个三角形靶位或者1-4个4~6英寸圆形靶位
溅射方式：
DC溅射，RF溅射；双极溅射，磁控溅射
气路配置：
根据客户需求配置MFC量程，最多可配备3路
[UploadFiles]697,175625,pdf,AccuSputter AW4450 Sputter.pdf[/UploadFiles]
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