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Gasonics Aura 1000 等离子去胶机
制造商:
Gasonics
成色:
由Allwin21彻底翻新并升级
晶圆尺寸:
2″/3″/4″/5″/6″
传片系统:
全自动, Allwin21自有技术,固态机械手传片系统
等离子电源:
微波
类型:
晶圆水平放置,单片工艺,独立机台
工艺气体:
根据客户需求配置MFC量程,最多可配备3路
下载信息
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点击下载文件:Gasonics Aura 1000 Plasma Asher.pdf
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