Gasonics Aura 3010 等离子去胶机概述:
Gasonics Aura 3010是用于3到8英寸直径的半导体圆片的单片去胶设备，通过产生低压、低温的等离子体辉光放电，与圆片表面反映，完成去胶。
Gasonics Aura 3010（Gasonics Aura 3000）的产能可以达到每小时50片，去胶速率可达每分钟1.0~3.0微米。至上而下的等离子体去胶模式，避免了圆片受到高能离子的损伤。
Aura3010系统由三个主要部件组成：
反应中心包括系统控制器、显示器、传片系统、微波发生系统和供气柜
电源柜
真空泵
 
Aura 3010可以采用独立安装和穿墙安装两种布局。系统包括主机柜和A-box。系统前部装有控制面板，触控显示屏，还装配了放置片盒的片盒台。
机柜的背面配置了工艺气体、真空、水路、排风和气动组件的气体接口
真空泵需要持续运转。通常放置在设备附近的机房内，与主机隔离开。
Gasonics Aura 3010 基本工艺流程
Gasonics Aura 3010的工艺过程包括以下步骤：将圆片从片盒内取出，放置到工艺腔内，执行所选定的工艺文件完成去胶，将圆片放到冷却台上（如有需要），最后将圆片送回片盒。为了获得更高的产量，可以使用热绝缘的Teflon片盒，从而省略冷却台的步骤。
机械手可以在3个轴向上运动。机械手的末端器带有真空，用于在移动过程中吸住圆片。
圆片进入工艺腔体后，3根蓝宝石杆会从圆片边缘将圆片托住。
工艺腔的腔壁内装有12个用于腔体加热加热器。圆片放入腔体后，由腔体底部的8个卤素灯泡将圆片加热到工艺温度。
O2和少量的N2混合后送入微波导管内的石英等离子体管。由磁控管生成的微波能量激发混合气体生成等离子体，将O2和N2分子解离成O原子和N原子。活性粒子顺流而下，通过配气室被带出源头区域。能够对圆片造成损伤的高能活性粒子，在通过3层分气盘的过程中发生气相复合而被消除。能够氧化光刻胶的低能量自由基和中性粒子，则被送到圆片表面，完成去胶
去胶工艺的终点，可以通过检测工艺过程中等离子体辉光的变化速率来确定。在去胶工艺结束时，卤素灯泡关闭，微波源关闭（继而辉光消失），工艺气体关闭。随后腔体内通入氮气进行吹扫，然后通气到达大气压以便将圆片取出。圆片从腔体内取出后会被送到冷却台。冷却台是一个通水冷却的平台。圆片冷却后将送回片盒内原来的槽位。
Gasonics Aura 3010主控软件Allwin21 AW-3000的主要特点:
 
AW-3000控制软件是专门用于GaSonics Aura-3010系统的一种先进的软件系统。AW-3000控制软件支持对 AW-ASHER系统进行完全的控制和诊断，支持创建工艺文件，以实现对工艺过程中的各方面进行自动控制。
 
AW-3000软件具有以下特点：
·         可在控制软件内对所有子系统进行自动校准。这有利于更快捷、更简单地进行校准，进而提升工艺结果
·         工艺文件创建。该功能来自工艺文件编辑器，可以创建、编辑工艺文件，以实现对工艺腔体内的晶圆进行全自动工艺流程控制
·         工艺文件确认，可以显示出控制流程中的错误
·         可以存储多个工艺文件、工艺数据和校准文件，方便以后对工艺和校准结果进行对比和维护
·         可以通过设置密码保护系统、工艺文件编辑、诊断、校准和功能设置的安全性
·         使用菜单界面可以很简便地进行工艺循环的设定和执行
·         故障处理功能使工程师和服务人员能够单独触发各个子系统
·         AW-3000控制软件可以在所有带有并口的奔腾系列的电脑上运行。电脑与设备之间只通过一根接口电缆进行对接。
 

由Allwin21公司翻新和升级的Gasonics Aura 3010的主要特点:
1  使用新式的固态机械手传片系统取代原设备的Z-bot 传片系统(►).
o    稳定性更好
o    提升正常运行时间
o    减少维护
o    不再使用已淘汰的Z-bot
o    降低了升级方案的费用
2  全新的PC控制器，安装了带有图形用户界面的Allwin21软件 (►)
o    全新的电路板替换掉原来的老电路板
o    先进的终点检测功能，使用了SLOPE算法和数字滤波，提升了可靠性和稳定性
o    实时获取工艺数据
o    实时图形显示
o    工艺数据分析
o    硬盘存储工艺数据和工艺文件
3  费用最低的升级方案
4  全新的触摸屏，替换掉过时的显示器
5  彻底翻新的系统，外观如同美国制造的全新设备
6  腔体设计，经过了半导体工业15年的验证
7  12个月的保修，行业领先
8  8周的交货时间，行业领先
9  不再使用任何老式的配件
10  最具性价比

由Allwin21彻底翻新和升级的Gasonics Aura 3010等离子去胶机标准配置:
·         晶圆材料：任何材料均可
·         晶圆尺寸：3″,4″,5″,6″,8″仅需要更换不同的石英托架
·         晶圆厚度：0.1~2.0mm
·         更加稳定的新式机械手传片系统
·         更加稳定的固定式片盒台
·         晶圆冷却台
·         腔体组件
·         全新的Allwin21主控电路板
·         全新的Allwin21软件
·         全新的PC控制器
·         全新的触摸屏
·         全新的鼠标
·         全新的控制线缆
·         1.4千瓦2.45GHz微波等离子发生系统
·         气体配送模块配有2个MFC（5 SLM O2，1SLM N2；可定制）
·         全新的工艺气体过滤器
·         压力/真空模块，带有10Torr的容压计，蝶阀（可定制），大气传感器
·         新的气动阀维护套件
·         交流配电箱
·         直流配电箱
·         如有需要，可对框架进行喷漆处理
·         如有需要，可对各面板重新进行阳极氧化处理

由Allwin21彻底翻新和升级的Gasonics Aura 3010等离子去胶机选件:
·         信号灯塔功能
·         真空泵：推荐客户自行准备真空泵，以便客户可以结合其它设备的泵组，从本地的泵组供应商处获得更好的服务，
·         终点检测功能
·         条形码功能
·         GEM SEC II 功能
·         为不同尺寸的圆片准备不同的石英托架
·         备件

由Allwin21彻底翻新和升级的Gasonics Aura 3010等离子去胶机技术指标:
·         去胶速率：<200Å/min到 >3.5μm/min
·         均匀性：(1 sigma,  >1.2μm厚光刻胶，去除50%)
o    片内均匀性：2%-5%
o    片间均匀性：2%-4% (平均值)
·         产量：45~60片/小时
·         压力：0.5~5Torr
·         微波功率：0~1400瓦，2.45GHz
·         圆片温度：90~300℃

Gasonics Aura 3010 等离子去胶机动力需求:
1. 电源需求
电源必须经过工厂配电箱提供到A-box内

电压	频率	额定电流	线数
交流208V 三相	50/60 Hz	80安培(A)	三相五线

 (a) 如果泵组不经过A-Box供电，则只需60A
2. 工艺真空需求
必须为Aura 3010提供真空，才能对工艺腔体进行操作
假设Aura 3010 到泵之间距离20英寸（6米）,如果不出两个以上90°的转角，那么可以使用直径3英寸（75mm）的真空管道。如果需要更长的真空管道，请联系我们的技术支持人员。

抽速	接头
压力500μHg(a)，185 cfm	KF-40(b)

(a) 真空度测量点在设备端，抽速需要更高
(b) 如果需要，可以提供KF-50接口
 
3. 机械手取片真空需求
传片机械手的末端器需要持续的真空源
 

真空压力	接口
20±1 inHg 0.8 scfm (22 slpm)	1/4 in tube(a)

（a）Swagelok 或同等规格接头.
 
4. 工艺气体需求
系统的工艺气体需求如下：
•316不锈钢管，管壁厚度不小于0.035 inch (1.0 mm)
•管路中尽量少用接头，建议使用轨道焊接管路和合适的接头
•管路中要配0.05微米过滤器，调压阀和截止阀
• 管道需要满足动力要求的纯度和Ra（平均粗糙度）指标

气体	压力	最大流量	纯度	接头	说明
Gas #1 (O2)	20–25psig 138-172kPa	10 slpm	SEMI C-3 Std. 5-88	1/4 in VCR male	Plasma Process Gases
Gas #2 (N2)		1 slpm
Gas #3(a) (N2H2)		2 slpm

（a）可选。H2含量低于5%
5. 其它需求
Aura 3010的运行还需要下面几种气体

气体	压力	纯度	接头	说明
CDA 或 N2	80–100 psig 550–690kPa	无油（油气少于0.1 ppm）	1/4 in Tube(a)	气动控制
吹扫 N2	30–40 psig 207–275 kPa	SEMI C-3   Std.5-88	1/4 in VCR 公头	腔体吹扫和充气
可选 泵镇流N2	参考泵组生产商的规格需求

(a) Swagelok 或同等规格
6. 冷却水和排水需求
Aura 3010用水来冷却磁控管、工艺腔体和灯泡托盘。另外，设备还在工艺腔体底部提供了带有排水口的托盘，用于将冷凝水或管道漏水安全的排到设备外面

项目	流量	温度	压力	接头
冷却水	1.5 gpm (5.7   lpm) min.	86 °F (30 °C)   Max 68 °F (20 °C) Min(a)	100 psig max.	3/8 in tube
底盘排水	N/A	N/A	N/A	1/4 in NPT

 (a) 冷却水温度能够影响去胶速率和磁控管寿命，稳定的水温非常重要
 
7. 机柜排风需求
机柜内多余的热量需要通过机柜排风系统排入厂务HVAC系统

流量需求	接头	备注
100 cfm	6 in (153   mm) O.D. stub	接入厂务HVAC系统

 
8. 尺寸和占用空间
 

项目	宽	深	高
主机柜	29.75 in (755.6 mm)   (a)	51.5 in (1308.1 mm) (b)	60.40 in (1534.16 mm)   (a)
A-Box	25.25 in (641.35   mm)	11.0 in (279.4 mm)	26.0 in (660.4 mm)

 (a)  不包含信号灯塔
(b)  背部面板的 EMO 按钮额外伸出 1 inch
9. 重量：784 lbs
** 水冷机、真空泵重量不计算在内
** 此处所涉及的所有规格参数信息仅供参考，如有修改恕不另行通知。请勿根据本文件内容做动力设计。动力条件的配置请参考设备手册。