Lam Rainbow 4420等离子刻蚀机动力条件:
刻蚀机,208V 50/60Hz, 三相五线制,三角形接法,最大电流30A,一般23A
R.F.Cart,208V 50/60Hz, 三相五线制,三角形接法,最大电流30A,一般23A
温度控制模块,208V 50/60Hz, 三相五线制,三角形接法,最大电流30A,一般23A
刻蚀机(44″宽x 54″深x 66″高, 1700 lbs)
R.F.Card(22″宽x 32″深 x 44″高, 250 lbs)
温度控制模块(23″宽x 37″深x 55″高, 420 lbs)
刻蚀机,机柜(300 CFM, 0.5 H
2O, 4″排风口)
气柜(75 SFM, 0.5 H
2O,2″排风口)
R.F.Card(2±0.2 GPM,85±5 PSI,14-35℃,3/8″内经接头,过滤器小于200微米)
温度控制模块(6±0.5 GPM,11-26℃,1/2″内经接头,过滤器小于200微米)
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氮气(或CDA):40±10PSI,90±10PSI
刻蚀机(3.4K水冷却,3.4K排风排出,7K散到环境中)
R.F.Card(7K水冷却,7K排风排出,7K散到环境中)
温度控制模块(4K水冷却,1K散到环境中)
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工艺气体:1/4″ VCR接头,小于0.05微米的过滤器