制造商: Lam Research
成色：由Allwin21全面翻新并升级
晶圆尺寸: 4″/5″/6″
传片系统: 全自动, 原装机械传片系统
等离子电源: 射频,13.56MHz
类型: 晶圆水平放置，单片工艺，等离子刻蚀，独立机台
刻蚀材料：多晶硅，金属硅化物和氮化物
工艺气体: 根据客户需求配置MFC量程，最多可配备5路