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Lam Rainbow 4720 等离子刻蚀机 |
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制造商:LamResearch成色:由Allwin21全面翻新晶圆尺寸:4″/5″/6″/8″传片系统:全自动,原装机械传片系统等离子电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放置,单片工艺,等 |
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Matrix 303 等离子刻蚀机 |
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制造商:Matrix成色:由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,原BrooksOrbitran®蛙腿机械手等离子体电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放 |
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Matrix 403 等离子刻蚀机 |
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制造商:Matrix成色:由Allwin21全面翻新并升级晶圆尺寸:3″/4″/5″/6″晶圆传输:全自动,原BrooksOrbitran®蛙腿机械手等离子体电源:射频,13.56MHz类型:晶圆水平放 |
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